2025年7月より装置利用料が改定されます。使用料金は測定時間や利用時間ではなく、装置占有時間（予約を押さえているなど装置を占有していると見なされる時間）で算定致します。計画的な利用をお願い致します。
学内者向け
- 一般利用(学内)
| 装 置 | 利用料 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200）XPS | 1,700円/1時間（工学部局内） 1,800円/1時間（工学部局外） |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES | 2,000円/1時間（工学部局内） 2,100円/1時間（工学部局内） |
| 走査型電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM | 700円/1時間（工学部局内） 800円/1時間（工学部局内） |
| 断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP | 500円/1時間 |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM | 300円/1時間 |
| 共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM | 200円/1時間 |
| 冷却断面分析用試料作製装置（IB-19520CCP）CCP | 700円/1時間 |
- 学内利用者（ARIM利用申請者）
| 装 置 | 利用料 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200）XPS | 1,300円/1時間（データ提供有り） 1,600円/1時間（データ提供無し） |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES | 1,500円/1時間（データ提供有り） 1,900円/1時間（データ提供無し） |
| 走査型電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM | 700円/1時間（工学部局内） 800円/1時間（工学部局内） |
| 断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP | 500円/1時間 |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM | 300円/1時間 |
| 共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM | 200円/1時間 |
| 冷却断面分析用試料作製装置（IB-19520CCP）CCP | 700円/1時間 |
※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額
学外者向け
学外の方が当施設のXPSまたはAESを利用される場合には、本学マテリアル先端リサーチインフラ事業の支援課題申請書の提出が必要です。詳しくはマテリアル先端リサーチインフラ事業websiteをご確認下さい。
- 学外利用者（ARIM利用申請者（他大学・公的機関））
| 装 置 | 初回講習料 | 利用料 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200) XPS |
35,200円/1回 | 1,900円/1時間（データ提供有り） 2,400円/1時間（データ提供無し） |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES |
35,200円/1回 | 2,400円/1時間（データ提供有り） 3,100円/1時間（データ提供無し） |
| 走査電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM |
17,600円/1回 | 2,100円/1時間 |
| 断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP |
17,600円/1回 | 1,300円/1時間 |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM |
8,800円/1回 | 1,300円/1時間 |
| 共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM |
8,800円/1回 | 1,100円/1時間 |
| 冷却断面分析用試料作製装置 (IB-19520CCP) CCP |
17,600円/1回 | 2,500円/1時間 |
※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額
- 学外利用者（ARIM利用申請者（その他・民間企業））
| 装 置 | 初回講習料 | 利用料 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200) XPS |
35,200円/1回 | 5,500円/1時間（データ提供有り） 7,000円/1時間（データ提供無し） |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES |
35,200円/1回 | 7,900円/1時間（データ提供有り） 10,100円/1時間（データ提供無し） |
| 走査電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM |
17,600円/1回 | 2,800円/1時間 |
| 断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP |
17,600円/1回 | 1,700円/1時間 |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM |
8,800円/1回 | 1,600円/1時間 |
| 共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM |
8,800円/1回 | 1,400円/1時間 |
| 冷却断面分析用試料作製装置 (IB-19520CCP) CCP |
17,600円/1回 | 3,300円/1時間 |
※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額
- 学外利用者（一般利用者（他大学・公的機関））
| 装 置 | 初回講習料 | 利用料 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200) XPS |
35,200円/1回 | 7,800円/1時間 |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES |
35,200円/1回 | 11,200円/1時間 |
| 走査電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM |
17,600円/1回 | 2,100円/1時間 |
| 断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP |
17,600円/1回 | 1,300円/1時間 |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM |
8,800円/1回 | 1,300円/1時間 |
| 共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM |
8,800円/1回 | 1,100円/1時間 |
| 冷却断面分析用試料作製装置 (IB-19520CCP) CCP |
17,600円/1回 | 2,500円/1時間 |
※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額
- 学外利用者（一般利用者（その他・民間企業））
| 装 置 | 初回講習料 | 利用料 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200) XPS |
35,200円/1回 | 10,100円/1時間 |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES |
35,200円/1回 | 14,600円/1時間 |
| 走査電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM |
17,600円/1回 | 2,800円/1時間 |
| 断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP |
17,600円/1回 | 1,700円/1時間 |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM |
8,800円/1回 | 1,600円/1時間 |
| 共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM |
8,800円/1回 | 1,400円/1時間 |
| 冷却断面分析用試料作製装置 (IB-19520CCP) CCP |
17,600円/1回 | 3,300円/1時間 |
※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額
- 技術支援料
| 技術支援内容 | 単価(学内利用者) | 単価（学外利用者） |
| 技術支援料(通常)※1 | 4,000円/1時間 | 4,400円/1時間 |
| 技術支援料(高度)※2 | 8,000円/1時間 | 8,800円/1時間 |
| 技術相談料※3 | 10,000円/1時間 | 11,000円/1時間（他大学・公的機関） 14,300 円/1 時間（その他・民間企業） |
※1．各種分析装置に関する通常の手法で可能な試料前処理(表面研磨、加工)などの作業
※2．各種分析装置に関するより精緻な試料前処理(表面研磨、加工、予備観察)が必要になる作業
※3．高度なデータ解析や編集作業を要する相談。一般的なご相談には適用しません。
消耗品
- 消耗品
| 消耗品 | 単価(学内利用者) | 単価(学外利用者) |
| マイクロカンチレバー(DFM用) | 3,800円/1本 | 4,180円/1本 |
| マイクロカンチレバー(AFM用) | 3,800円/1本 | 4,180円/1本 |
| カンチレバー用ゲルパック 静電気対策品 | 4,600円/1個 | 5,060円/1個 |
| 小型精密切断機用砥石(GC砥粒) | 700円/1個 | 770円/1個 |
| 冷却断面分析用試料作製装置用遮蔽板(磁性) | 7,700円/1枚 | 8,470円/1枚 |
| 冷却断面分析用試料作製装置用遮蔽板(非磁性) | 10,780円/1枚 | 11,860円/1枚 |
| 耐水研磨紙 | 200円/1枚 | 220円/1枚 |
| 自動回転研磨機用琢磨布及び研磨材 | 200円/1回 | 220円/1回 |