2025年7月より装置利用料が改定されます。使用料金は測定時間や利用時間ではなく、装置占有時間(予約を押さえているなど装置を占有していると見なされる時間)で算定致します。計画的な利用をお願い致します。

学内者向け

  • 一般利用(学内)
装   置 利用料
X線光電子分光装置 (JPS-9200)XPS 1,700円/1時間(工学部局内)
1,800円/1時間(工学部局外)
オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES 2,000円/1時間(工学部局内)
2,100円/1時間(工学部局内)
走査型電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM 700円/1時間(工学部局内)
800円/1時間(工学部局内)
断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP 500円/1時間
原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM 300円/1時間
共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM 200円/1時間
冷却断面分析用試料作製装置(IB-19520CCP)CCP 700円/1時間
  • 学内利用者(ARIM利用申請者)
装   置 利用料
X線光電子分光装置 (JPS-9200)XPS 1,300円/1時間(データ提供有り)
1,600円/1時間(データ提供無し)
オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES 1,500円/1時間(データ提供有り)
1,900円/1時間(データ提供無し)
走査型電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM 700円/1時間(工学部局内)
800円/1時間(工学部局内)
断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP 500円/1時間
原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM 300円/1時間
共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM 200円/1時間
冷却断面分析用試料作製装置(IB-19520CCP)CCP 700円/1時間

※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額

    学外者向け

    学外の方が当施設のXPSまたはAESを利用される場合には、本学マテリアル先端リサーチインフラ事業の支援課題申請書の提出が必要です。詳しくはマテリアル先端リサーチインフラ事業websiteをご確認下さい。

     

    • 学外利用者(ARIM利用申請者(他大学・公的機関))
     装   置 初回講習料 利用料
    X線光電子分光装置
    (JPS-9200) XPS
    35,200円/1回 1,900円/1時間(データ提供有り)
    2,400円/1時間(データ提供無し)
    オージェ電子分光装置
    (JAMP-9500F) AES
    35,200円/1回 2,400円/1時間(データ提供有り)
    3,100円/1時間(データ提供無し)
    走査電子顕微鏡
    (JSM-6510LA) SEM
    17,600円/1回 2,100円/1時間
    断面分析用試料作製装置
    (SM-09010) CP
    17,600円/1回 1,300円/1時間
    原子間力顕微鏡
    (SPA-400) AFM
    8,800円/1回 1,300円/1時間
    共焦点レーザー走査型顕微鏡
    (1LM21D) LSCM
    8,800円/1回 1,100円/1時間
    冷却断面分析用試料作製装置
    (IB-19520CCP) CCP
    17,600円/1回 2,500円/1時間

    ※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額

    • 学外利用者(ARIM利用申請者(その他・民間企業))
     装   置 初回講習料 利用料
    X線光電子分光装置
    (JPS-9200) XPS
    35,200円/1回 5,500円/1時間(データ提供有り)
    7,000円/1時間(データ提供無し)
    オージェ電子分光装置
    (JAMP-9500F) AES
    35,200円/1回 7,900円/1時間(データ提供有り)
    10,100円/1時間(データ提供無し)
    走査電子顕微鏡
    (JSM-6510LA) SEM
    17,600円/1回 2,800円/1時間
    断面分析用試料作製装置
    (SM-09010) CP
    17,600円/1回 1,700円/1時間
    原子間力顕微鏡
    (SPA-400) AFM
    8,800円/1回 1,600円/1時間
    共焦点レーザー走査型顕微鏡
    (1LM21D) LSCM
    8,800円/1回 1,400円/1時間
    冷却断面分析用試料作製装置
    (IB-19520CCP) CCP
    17,600円/1回 3,300円/1時間

    ※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額

    • 学外利用者(一般利用者(他大学・公的機関))
     装   置 初回講習料 利用料
    X線光電子分光装置
    (JPS-9200) XPS
    35,200円/1回 7,800円/1時間
    オージェ電子分光装置
    (JAMP-9500F) AES
    35,200円/1回 11,200円/1時間
    走査電子顕微鏡
    (JSM-6510LA) SEM
    17,600円/1回 2,100円/1時間
    断面分析用試料作製装置
    (SM-09010) CP
    17,600円/1回 1,300円/1時間
    原子間力顕微鏡
    (SPA-400) AFM
    8,800円/1回 1,300円/1時間
    共焦点レーザー走査型顕微鏡
    (1LM21D) LSCM
    8,800円/1回 1,100円/1時間
    冷却断面分析用試料作製装置
    (IB-19520CCP) CCP
    17,600円/1回 2,500円/1時間

    ※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額

    • 学外利用者(一般利用者(その他・民間企業))
     装   置 初回講習料 利用料
    X線光電子分光装置
    (JPS-9200) XPS
    35,200円/1回 10,100円/1時間
    オージェ電子分光装置
    (JAMP-9500F) AES
    35,200円/1回 14,600円/1時間
    走査電子顕微鏡
    (JSM-6510LA) SEM
    17,600円/1回 2,800円/1時間
    断面分析用試料作製装置
    (SM-09010) CP
    17,600円/1回 1,700円/1時間
    原子間力顕微鏡
    (SPA-400) AFM
    8,800円/1回 1,600円/1時間
    共焦点レーザー走査型顕微鏡
    (1LM21D) LSCM
    8,800円/1回 1,400円/1時間
    冷却断面分析用試料作製装置
    (IB-19520CCP) CCP
    17,600円/1回 3,300円/1時間

    ※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額

    • 技術支援料
    技術支援内容 単価(学内利用者) 単価(学外利用者)
    技術支援料(通常)※1 4,000円/1時間 4,400円/1時間
    技術支援料(高度)※2 8,000円/1時間 8,800円/1時間
    技術相談料※3 10,000円/1時間 11,000円/1時間(他大学・公的機関)
    14,300 円/1 時間(その他・民間企業)

    ※1.各種分析装置に関する通常の手法で可能な試料前処理(表面研磨、加工)などの作業

    ※2.各種分析装置に関するより精緻な試料前処理(表面研磨、加工、予備観察)が必要になる作業

    ※3.高度なデータ解析や編集作業を要する相談。一般的なご相談には適用しません。

    消耗品

    • 消耗品
    消耗品 単価(学内利用者) 単価(学外利用者)
    マイクロカンチレバー(DFM用) 3,800円/1本 4,180円/1本
    マイクロカンチレバー(AFM用) 3,800円/1本 4,180円/1本
    カンチレバー用ゲルパック 静電気対策品 4,600円/1個 5,060円/1個
    小型精密切断機用砥石(GC砥粒) 700円/1個 770円/1個
    冷却断面分析用試料作製装置用遮蔽板(磁性) 7,700円/1枚 8,470円/1枚
    冷却断面分析用試料作製装置用遮蔽板(非磁性) 10,780円/1枚 11,860円/1枚
    耐水研磨紙 200円/1枚 220円/1枚
    自動回転研磨機用琢磨布及び研磨材 200円/1回 220円/1回