2022年10月より装置利用料が改定されました。使用料金は測定時間や利用時間ではなく、装置占有時間（予約を押さえているなど装置を占有していると見なされる時間）で算定致します。計画的な利用をお願い致します。
学内者向け
- 一般利用(学内)
| 装 置 | 利用料 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200）XPS | 1,500円/1時間 |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES | 1,800円/1時間 |
| 走査型電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM | 700円/1時間 |
| 断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP | 500円/1時間 |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM | 300円/1時間 |
| 共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM | 200円/1時間 |
| 冷却断面分析用試料作製装置（IB-19520CCP）CCP | 700円/1時間 |
- マテリアル先端リサーチインフラ事業支援申請有(学内、データ提供有り)※1，2
| 装 置 | 利用料 | 技術補助料 ※3 | 技術代行料 ※4 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200) XPS | 1,200円/1時間 | 5,200円/1時間 | 9,200円/1時間 |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES | 1,400円/1時間 | 5,400円/1時間 | 9,400円/1時間 |
| 走査電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM | 500円/1時間 | － | － |
| 断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP | 300円/1時間 | － | － |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM | 300円/1時間 | － | － |
| 共焦点レーザー走査型 顕微鏡 (1LM21D) LSCM | 200円/1時間 | － | － |
| 冷却断面分析用試料作製装置 （IB-19520CCP）CCP | 500円/1時間 | － | － |
※1マテリアル先端リサーチインフラ事業の支援課題申請書を提出された装置利用者またはその申請の関連研究者等に記載がある装置利用者で、装置利用がその申請課題に基づく利用であり、必要に応じて各装置での測定データを本事業体へ提供することが出来る、且つその申請課題で年度中に本施設の光電子分光装置（XPS）またはオージェ電子分光装置（AES）の利用がある場合に本区分の料金が適用される。
※2装置予約時に課題番号の入力が必要。本事業体へのデータ提供について協力頂けない場合、一般利用を適用することとなります。
※3利用者が装置講習を受けず、装置オペレーションを技術職員に一任して利用者の指示の下で測定を行う場合。
※4利用者が装置講習を受けず、装置オペレーションを技術職員に一任して利用者の指示の下で高度な測定やデータ解析を行う場合。
学外者向け
学外の方が当施設のXPSまたはAESを利用される場合には、本学マテリアル先端リサーチインフラ事業の支援課題申請書の提出が必要です。詳しくはマテリアル先端リサーチインフラ事業websiteをご確認下さい。
- 学外(大学・公的機関、データ提供有り)※5
| 装 置 | 初回講習料 | 利用料 | 技術補助料※3 | 技術代行料※4 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200) XPS | 35,200円 /1回 | 1,800円 /1時間 | 6,200円 /1時間 | 10,600円 /1時間 |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES | 35,200円 /1回 | 2,300円 /1時間 | 6,700円 /1時間 | 11,100円 /1時間 |
| 走査電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM | 17,600円 /1回 | 880円 /1時間 | － | － |
| 断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP | 17,600円 /1回 | 660円 /1時間 | － | － |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM | 8,800円 /1回 | 440円 /1時間 | － | － |
| 共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM | 8,800円 /1回 | 330円 /1時間 | － | － |
| 冷却断面分析用試料作製装置 (IB-19520CCP) CCP | 17,600円 /1回 | 900円 /1時間 | － | － |
- 学外(一般、データ提供有り)※6
| 装 置 | 初回講習料 | 利用料 | 技術補助料 ※3 | 技術代行料 ※4 |
| X線光電子分光装置 (JPS-9200) XPS | 35,200円 /1回 | 5,400円 /1時間 | 9,800円 /1時間 | 14,200円 /1時間 |
| オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES | 35,200円 /1回 | 7,800円 /1時間 | 12,200円 /1時間 | 16,600円 /1時間 |
| 走査電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM | 17,600円 /1回 | 2,200円 /1時間 | － | － |
| 断面分析用試料 作製装置 (SM-09010) CP | 17,600円 /1回 | 1,210円 /1時間 | － | － |
| 原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM | 8,800円 /1回 | 1,760円 /1時間 | － | － |
| 共焦点レーザー走査型 顕微鏡 (1LM21D) LSCM | 8,800円 /1回 | 1,650円 /1時間 | － | － |
| 冷却断面分析用試料作製装置 (IB-19520CCP) CCP | 17,600円 /1回 | 2,200円 /1時間 | － | － |
- 技術支援料
| 技術支援内容 | 単価(学内利用者) | 単価(学外利用者) |
| 技術支援料(通常)※7 | 4,000円/1時間 | 4,400円/1時間 |
| 技術支援料(高度)※8 | 8,000円/1時間 | 8,800円/1時間 |
| 技術相談料※9 | 10,000円/1時間 | 11,000円/1時間 |
※3利用者が装置講習を受けず、装置オペレーションを技術職員に一任して利用者の指示の下で測定を行う場合。
※4利用者が装置講習を受けず、装置オペレーションを技術職員に一任して利用者の指示の下で高度な測定やデータ解析を行う場合。
※5本事業体へのデータ提供についてご協力頂けない場合、利用料、技術支援料、技術代行料の単価はXPSで500円、AESで700円割り増しの料金となります。
※6 本事業体へのデータ提供についてご協力頂けない場合、利用料、技術支援料、技術代行料の単価はXPSで1,000円、AESで2,200円割り増しの料金となります。
※7各種分析装置に関する通常の手法で可能な試料前処理(表面研磨、加工)などの作業
※8各種分析装置に関するより精緻な試料前処理(表面研磨、加工、予備観察)が必要になる作業
※9高度なデータ解析や編集作業を要する相談。一般的なご相談には適用しません。
消耗品
- 消耗品
| 消耗品 | 単価(学内利用者) | 単価(学外利用者) |
| マイクロカンチレバー(DFM用) | 3,800円/1本 | 4,180円/1本 |
| マイクロカンチレバー(AFM用) | 3,800円/1本 | 4,180円/1本 |
| カンチレバー用ゲルパック 静電気対策品 | 4,600円/1個 | 5,060円/1個 |
| 小型精密切断機用砥石(GC砥粒) | 700円/1個 | 770円/1個 |
| 冷却断面分析用試料作製装置用遮蔽板(磁性) | 7,700円/1枚 | 8,470円/1枚 |
| 冷却断面分析用試料作製装置用遮蔽板(非磁性) | 10,780円/1枚 | 11,860円/1枚 |
| 耐水研磨紙 | 200円/1枚 | 220円/1枚 |
| 自動回転研磨機用琢磨布及び研磨材 | 200円/1回 | 220円/1回 |