2025年7月より装置利用料が改定されました。使用料金は測定時間や利用時間ではなく、装置占有時間（予約を押さえているなど装置を占有していると見なされる時間）で算定致します。計画的な利用をお願い致します。

学内者向け

  • 一般利用(学内)
装　　　置 利用料
X線光電子分光装置 (JPS-9200）XPS 1,700円/1時間（工学部局内）
1,800円/1時間（工学部局外）
オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES 2,000円/1時間（工学部局内）
2,100円/1時間（工学部局外）
走査型電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM 700円/1時間（工学部局内）
800円/1時間（工学部局外）
断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP 500円/1時間
原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM 300円/1時間
共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM 200円/1時間
冷却断面分析用試料作製装置（IB-19520CCP）CCP 700円/1時間
  • 学内利用者（ARIM利用申請者）
装　　　置 利用料
X線光電子分光装置 (JPS-9200）XPS 1,300円/1時間（データ提供有り）
1,600円/1時間（データ提供無し）
オージェ電子分光装置 (JAMP-9500F) AES 1,500円/1時間（データ提供有り）
1,900円/1時間（データ提供無し）
走査型電子顕微鏡 (JSM-6510LA) SEM 700円/1時間（工学部局内）
800円/1時間（工学部局外）
断面分析用試料作製装置 (SM-09010) CP 500円/1時間
原子間力顕微鏡 (SPA-400) AFM 300円/1時間
共焦点レーザー走査型顕微鏡 (1LM21D) LSCM 200円/1時間
冷却断面分析用試料作製装置（IB-19520CCP）CCP 700円/1時間

※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,000円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,000円の増額

学外者向け

学外の方が当施設のXPSまたはAESを利用される場合には、本学マテリアル先端リサーチインフラ事業の支援課題申請書の提出が必要です。詳しくはマテリアル先端リサーチインフラ事業websiteをご確認下さい。

 

  • 学外利用者（ARIM利用申請者（他大学・公的機関））
　装　　　置 初回講習料 利用料
X線光電子分光装置
(JPS-9200) XPS		 35,200円/1回 1,900円/1時間（データ提供有り）
2,400円/1時間（データ提供無し）
オージェ電子分光装置
(JAMP-9500F) AES		 35,200円/1回 2,400円/1時間（データ提供有り）
3,100円/1時間（データ提供無し）
走査電子顕微鏡
(JSM-6510LA) SEM		 17,600円/1回 2,100円/1時間
断面分析用試料作製装置
(SM-09010) CP		 17,600円/1回 1,300円/1時間
原子間力顕微鏡
(SPA-400) AFM		 8,800円/1回 1,300円/1時間
共焦点レーザー走査型顕微鏡
(1LM21D) LSCM		 8,800円/1回 1,100円/1時間
冷却断面分析用試料作製装置
(IB-19520CCP) CCP		 17,600円/1回 2,500円/1時間

※ X線光電子分光装置、オージェ電子分光装置の技術補助料は装置利用料より 各単価4,400円の増額、技術代行料は装置利用料より各単価8,800円の増額

  • 学外利用者（ARIM利用申請者（その他・民間企業））
　装　　　置 初回講習料 利用料
X線光電子分光装置
(JPS-9200) XPS		 35,200円/1回 5,500円/1時間（データ提供有り）
7,000円/1時間（データ提供無し）
オージェ電子分光装置
(JAMP-9500F) AES		 35,200円/1回 7,900円/1時間（データ提供有り）
10,100円/1時間（データ提供無し）
走査電子顕微鏡
(JSM-6510LA) SEM		 17,600円/1回 2,800円/1時間
断面分析用試料作製装置
(SM-09010) CP		 17,600円/1回 1,700円/1時間
原子間力顕微鏡
(SPA-400) AFM		 8,800円/1回 1,600円/1時間
共焦点レーザー走査型顕微鏡
(1LM21D) LSCM		 8,800円/1回 1,400円/1時間
冷却断面分析用試料作製装置
(IB-19520CCP) CCP		 17,600円/1回 3,300円/1時間

  • 学外利用者（一般利用者（他大学・公的機関））
　装　　　置 初回講習料 利用料
X線光電子分光装置
(JPS-9200) XPS		 35,200円/1回 7,800円/1時間
オージェ電子分光装置
(JAMP-9500F) AES		 35,200円/1回 11,200円/1時間
走査電子顕微鏡
(JSM-6510LA) SEM		 17,600円/1回 2,100円/1時間
断面分析用試料作製装置
(SM-09010) CP		 17,600円/1回 1,300円/1時間
原子間力顕微鏡
(SPA-400) AFM		 8,800円/1回 1,300円/1時間
共焦点レーザー走査型顕微鏡
(1LM21D) LSCM		 8,800円/1回 1,100円/1時間
冷却断面分析用試料作製装置
(IB-19520CCP) CCP		 17,600円/1回 2,500円/1時間

  • 学外利用者（一般利用者（その他・民間企業））
　装　　　置 初回講習料 利用料
X線光電子分光装置
(JPS-9200) XPS		 35,200円/1回 10,100円/1時間
オージェ電子分光装置
(JAMP-9500F) AES		 35,200円/1回 14,600円/1時間
走査電子顕微鏡
(JSM-6510LA) SEM		 17,600円/1回 2,800円/1時間
断面分析用試料作製装置
(SM-09010) CP		 17,600円/1回 1,700円/1時間
原子間力顕微鏡
(SPA-400) AFM		 8,800円/1回 1,600円/1時間
共焦点レーザー走査型顕微鏡
(1LM21D) LSCM		 8,800円/1回 1,400円/1時間
冷却断面分析用試料作製装置
(IB-19520CCP) CCP		 17,600円/1回 3,300円/1時間

  • 技術支援料
技術支援内容 単価(学内利用者) 単価（学外利用者）
技術支援料(通常)※1 4,000円/1時間 4,400円/1時間
技術支援料(高度)※2 8,000円/1時間 8,800円/1時間
技術相談料※3 10,000円/1時間 11,000円/1時間（他大学・公的機関）
14,300 円/1 時間（その他・民間企業）

※1．各種分析装置に関する通常の手法で可能な試料前処理(表面研磨、加工)などの作業

※2．各種分析装置に関するより精緻な試料前処理(表面研磨、加工、予備観察)が必要になる作業

※3．高度なデータ解析や編集作業を要する相談。一般的なご相談には適用しません。

消耗品

  • 消耗品
消耗品 単価(学内利用者) 単価(学外利用者)
マイクロカンチレバー(DFM用) 3,800円/1本 4,180円/1本
マイクロカンチレバー(AFM用) 3,800円/1本 4,180円/1本
カンチレバー用ゲルパック　静電気対策品 4,600円/1個 5,060円/1個
小型精密切断機用砥石(GC砥粒) 700円/1個 770円/1個
冷却断面分析用試料作製装置用遮蔽板(磁性) 7,700円/1枚 8,470円/1枚
冷却断面分析用試料作製装置用遮蔽板(非磁性) 10,780円/1枚 11,860円/1枚
耐水研磨紙 200円/1枚 220円/1枚
自動回転研磨機用琢磨布及び研磨材 200円/1回 220円/1回