SEMの反射電子検出器の使用条件について

いつもご利用ありがとうございます。

以前お知らせしていた反射電子検出器の不具合についてご連絡いたします。

以前同様、反射電子検出器の使用時にノイズが発生します。

ただし、下記の条件下で観察するとノイズの軽減が確認できました。

10kVの場合、SS60～65以上
15kVの場合、SS55以上
20kVの場合、SS50～55以上

ご参照ください。

サンプルに応じて、条件は変わっていきますのでノイズが消えるまで照射電流量(SS)を調整してください。

よろしくお願いいたします。