XPS磁場レンズの移動禁止について 投稿者: 鈴木啓太 日付: 2013年12月16日 角度分解法測定をする際などに利用する、ステージの移動制限を大傾度用に切り替えるスイッチングが磁場レンズのステージ機構に付属しています。 先週、これが磁場レンズの過度な移動により壊れている事が分かりました。現在修理を依頼中…