日: 2014年4月17日

いつもご利用頂きありがとうございます。 XPSのミクロモード(0.2mmφ、0.03mmφ)での測定の際に機能する磁場レンズのZ軸位置をZ=19.45からZ=18.45に調整しました。これは現行のままだとステージZ軸を大…