SEMの反射電子検出器の故障について 投稿者: 鈴木啓太 日付: 2019年6月7日 いつもご利用ありがとうございます。 SEM(JSM-6510LA)は現在、 試料との接触により検出器が壊れた為、反射電子像(COMPO像、TOPO像、立体像)の観察が行えません。 また、反射電子像を観察する低真空モードに…