EDSの不具合について&SEM-EDSのメンテナンス日程のお知らせ 投稿者: 鈴木啓太 日付: 2020年3月26日 いつもご利用ありがとうございます。 最近SEM(JSM-6510LA)のEDSを使用中または使用前にバイアス電圧の不具合が起きる事が多くなっています。 EDSのバイアス電圧が掛かっていない場合、得られたスペクトルのピーク…