オージェ電子分光装置の不調、及びメンテナンス日程について 投稿者: 鈴木啓太 日付: 2023年2月27日 いつもご利用ありがとうございます。 現在、オージェ電子分光装置(JAMP-9500F)はエミッタの不具合により、通常よりもSEM観察時の空間分解能が落ちています。大体1万倍程度の観察が限界の分解能となっています。 1万倍…