研究室移転に伴う装置等の変更点について

XPSについて

イオンガンのエッチングレートが変更になりました。

ch1: 14.3nm/min(SiO2)

ch2: 10.0nm/min(SiO2)

ch3: 2.0nm/min(SiO2)

ch4: 14.3nm/min(SiO2) Tilt-10度傾斜時

 

AESについて

装置の配置が変更になりました。

AES全景

 

 

 

 

 

 

イオンガンのオートバルブコントローラーの電源On/Offスイッチが用意されました。

オートバルブコントローラーの電源はこのスイッチでOn/Offを操作して下さい。オートバルブコントローラー本体の電源の操作は禁止です。

 

オートバルブコントローラースイッチ

 

 

 

 

 

 

 

また今まではイオンガンのガス圧を確認する為、AVCのボタンをOnにする操作がありましたが、これからはAVCボタンはOn状態が通常状態とします。AVCボタンの操作は行わないで下さい。

 

イオンガンユニット

 

 

 

 

 

 

研究室設備について

試料準備台が部屋の真ん中にあります。ここで各分析装置の試料を準備して下さい。

試料準備台

 

 

 

 

 

 

XPS/EDS解析用PCが更新されました。以前のPCに保存されていたデータは各PCに移行してあります。ご自由にお使い下さい。

解析用PC

 

 

 

 

 

 

XPSは無事移転調整が終了致しました。6/16(月)より予約サイトでの装置予約を開放させて頂きます。

 

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