XPSについて
イオンガンのエッチングレートが変更になりました。
ch1: 14.3nm/min(SiO2)
ch2: 10.0nm/min(SiO2)
ch3: 2.0nm/min(SiO2)
ch4: 14.3nm/min(SiO2) Tilt-10度傾斜時
AESについて
装置の配置が変更になりました。
イオンガンのオートバルブコントローラーの電源On/Offスイッチが用意されました。
オートバルブコントローラーの電源はこのスイッチでOn/Offを操作して下さい。オートバルブコントローラー本体の電源の操作は禁止です。
また今まではイオンガンのガス圧を確認する為、AVCのボタンをOnにする操作がありましたが、これからはAVCボタンはOn状態が通常状態とします。AVCボタンの操作は行わないで下さい。
研究室設備について
試料準備台が部屋の真ん中にあります。ここで各分析装置の試料を準備して下さい。
XPS/EDS解析用PCが更新されました。以前のPCに保存されていたデータは各PCに移行してあります。ご自由にお使い下さい。
XPSは無事移転調整が終了致しました。6/16(月)より予約サイトでの装置予約を開放させて頂きます。