いつもご利用ありがとうございます。
オージェ電子分光装置について、現在試料準備室の真空引きがあまり進まない現象が起きています。
通常なら試料準備室の十分真空引きが行えていれば、真空計(ペニングゲージ)で針がゲージの緑色の端まで到達しますが、現在は中間より少し先程度までしか進みません。
この修理作業のため、10月6日～11日午前中まで装置が使用出来ません。
ご理解の程よろしくお願いいたします。
修理までの間、装置自体は使用可能です。
試料準備室での真空引きについては、通常真空計の針が0に到達するまで待ってもらっていますがそこまで進まないため、真空計の値は気にせず、いつも通りの時間程度待機した後に試料導入を行って下さい。
試料導入後のメインチャンバーの真空度もこれに伴って多少悪い状態になりますが、10-6Paオーダーであれば測定に入ってもらって構いません。
ご確認のほどよろしくお願いいたします。