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本施設では今年度、新たな共用機器としてクライオクロスセクションポリッシャ(IB-19520CCP JEOL)を導入致しました。

本機器はAr⁺ビーム照射により試料断面ミリングを行うクロスセクションポリッシャにクライオ機能を追加した装置で、イオンビームによる熱ダメージを軽減させた加工を行う事が出来ます。
また、加速電圧は最大8kVまで利用可能で、旧型のクロスセクションポリッシャよりもエッチングレートは3~4倍ほど速くなっております。
各種機能ホルダーが用意され、断面ミリングの他、平面ミリング加工を実施する事や、大気非曝露搬送が可能です。
他にも自動冷却、自動加工開始、自動仕上げ加工開始などのプログラム内蔵、内部CCDカメラで加工状況の確認が出来るなど、旧型機より大変使いやすくなっております。

クライオクロスセクションポリッシャについて詳しくは日本電子株式会社ホームページ、また下記の紹介資料をご参照下さい。
https://www.jeol.co.jp/products/detail/IB-19520CCP.html

CCP紹介資料

装置使用方法については「装置について」内の簡易マニュアルをご参照下さい。

また、利用料については「使用料金&消耗品について」をご参照下さい。

CPとは異なり、CCPでは消耗品として遮蔽板をご自身でご用意されるか、または当施設からご購入頂いた上でご利用頂きます。一枚の遮蔽板で20回程度加工が可能です。

また、クライオ機能を利用する場合には液体窒素を用意いたしますので、事前に利用予定日をスタッフまでお知らせください。

なお現在、当施設では北海道大学の行動指針(BCP)レベル3期間中、対面での装置初回講習を原則中止しております。
CCPを含む各装置講習についてはweb会議サービスを利用したオンライン講習、または試料を預かっての分析/加工代行を実施しております。
ご不便お掛け致しますが、ご利用の際にはメール/電話等でご相談の上、オンライン講習または代行利用についてご検討頂きますようお願い致します。

ご確認のほどよろしくお願い致します。

 

カテゴリー: CCP