いつもご利用ありがとうございます。
SEM-EDS(JSM-6510LA)について日本語版、英語版のマニュアル内容を更新しました。
今までの利用方法ではSEMソフトウェア及び装置PCはシャットダウンをしない事としておりましたが、PCの不具合でソフトウェアがフリーズする事が多くなっている為、使用後はソフトウェア、PC共にシャットダウンする事にしました。
SEMを使用する際はPCの立ち上げから始めて下さい。
また装置使用後は、チャンバーの真空を引いてチャンバーの状態が”Ready”に変わったらソフトウェアを終了してください。そしてPCもWindowsメニューからシャットダウンを行って下さい。
詳しくはマニュアルをご確認ください。
ご確認のほどよろしくお願い致します。