いつもご利用ありがとうございます。
最近SEM(JSM-6510LA)のEDSを使用中または使用前にバイアス電圧の不具合が起きる事が多くなっています。
EDSのバイアス電圧が掛かっていない場合、得られたスペクトルのピーク位置は全てズレてしまい、定性する際にかなりおかしい判定がつくことがあります。
利用者の方はバイアス電圧の不具合が発生していないかどうか確認しながら使用してください。
バイアス電圧に関するエラーメッセージが表示された場合、EDSソフトウェアの再立ち上げ、またはPCの再立ち上げでほぼ症状が無くなるのでお試し下さい。
エラーメッセージが表示されていない場合でもバイアス電圧が不調となっている場合があるので、得られたスペクトルを良く確認して、定性した際に試料の組成と全く合っていない場合があれば上記の対処を行って再測定を行って下さい。
4月1日9:00～17:00に本トラブルについてのSEM-EDSのメンテナンスを行います。
ご不便お掛け致しますがご理解のほどよろしくお願いいたします。