反射電子像(組成像)の不具合について

いつもご利用ありがとうございます。

現在、SEM(JSM-6510LA)で組成像観察時にノイズが入りこむ現象が発生しております。

これはサンプルに関わりなく、反射電子検出器の一部の検出器に不具合がある為です。

年内中に反射電子検出器を交換する予定です。

組成像を観察したいユーザーの方は交換するまでの間の応急対策として、電子線の加速電圧、スポットサイズを大きく設定して観察を行って下さい(加速電圧20kV以上、SS65以上)。

また、スキャンスピードを遅くすることでも画像のノイズが低減します。

ご不便をおかけいたしますが、ご理解のほどよろしくお願いいたします。

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