XPS磁場レンズの移動禁止について

角度分解法測定をする際などに利用する、ステージの移動制限を大傾度用に切り替えるスイッチングが磁場レンズのステージ機構に付属しています。

先週、これが磁場レンズの過度な移動により壊れている事が分かりました。現在修理を依頼中です。

修理は2,3週間後を予定しています。それまでの間、磁場レンズの移動を禁止致します。それに伴い、ステージのTilt、Zの大幅な移動も出来なくなりますので、角度分解法測定も従来の移動制限内のみとしてください。

今回のスイッチングのみならず、装置の可動部分を無思慮に扱うと簡単に壊れます。部品の交換には日数もお金もかかってしまいますので些細な部分でも注意して、乱暴に扱わないようにお願い致します。

修理が終了次第、またご連絡致します。

磁場レンズステージ

 

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