XPSカメラセンターと分析・エッチング位置のズレについて

いつもご利用頂きありがとうございます。

XPSのカメラモニターに表示されるセンター位置が本来、分析位置とAr+イオンガンでエッチングされる中心位置になっておりますが、現在これが若干ズレております。

マクロモード(分析領域3mm,1mm)での測定に関しては、測定結果に対しこのズレが大きく影響を与える事はないと思われますので通常通りご利用頂けると思われます。

ミクロモード(分析領域0.2mm,0.03mm)での測定に関しては分析位置から大きく外れる可能性がありますのでその都度分析点の位置修正をかける必要があります。

ミクロモードでの測定を利用予定にされているユーザーの方がおりましたらスタッフまでご連絡下さい。

位置ズレに関する修理の時期については現在未定です。

宜しくお願い致します。

XPS最小強度位置1mm

 

 

 

 

 

この画像は銀の穴(径1mm)を測定した際の銀ピーク強度最小の位置のカメラモニタ写真です。

現在カメラモニタのセンターに対し0.5mmほど左下が分析位置になっているようです。

ただし、試料表面が傾いていたり、Zの焦点位置調整が行われていないなどの理由で分析位置はまたズレが生じて変わります。

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