いつもご利用ありがとうございます。

今年度の定期保守点検が終了し、一部XPSのマニュアル内容が更新されましたので確認をお願い致します。

主な変更点は

・分析径を設定する絞りの数値(1㎜φと0.02㎜φの設定が変わっています)

・エッチングレート

・アルゴンイオンガンを使用する際のガス圧設定(10.0×10-2Paになりました)

です。

あとホルダーのレールの緩みを抑えたので分析室導入時に少しきつく感じると思います。少し硬いですがそのまま押し込んでみて下さい。

XPS利用者についてはご確認のほどよろしくお願い致します。

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