いつもご利用ありがとうございます。
JPS-9200のイオンガンについて、先日まで続いておりましたArガス圧を10.0×10-2Paまでバルブ開放すると分析室の真空度が著しく劣化し、X線が落ちてしまう不具合は、現在解消されました。
エッチングの際はArガス圧をマニュアルに記載の通り、10.0×10-2Paまでバルブ開放を行い、オートバルブコントロールも10.0×10-2Paに設定の上、ご使用下さい。
なお、バルブ開放についてマニュアル内容を一部更新しました。今後、Arガスバルブ開放時は一度に開放してしまわず、ガス圧を確認しながら徐々にガス圧を上げていき、ガス圧が10.0×10-2Pa前後で平衡状態に達するのを確認してから次の作業に入るようにして下さい。
また、この度光電子分光分析研究室では共用の前処理装置として、カーボンコーター(メイワフォーシス、CADE-E)を新たに導入致しました。
EDS分析、EBSD分析、AES分析向けの導電性膜を試料にコート出来る装置です。炭素蒸着を1nm~20nmほどの膜厚で、均一で純度よく行う事が出来ます。蒸着の他、プラズマ処理機能も有しており、コーティング前後でクリーニングや親水化処理が可能です。ご利用にあたって、装置予約や装置利用料はなく、施設利用者の方はいつでも利用可能です。初回利用時に装置講習を受ける必要がありますのでご希望の方はスタッフまでご相談下さい。
よろしくお願いいたします。