いつもご利用ありがとうございます。
JPS-9200のイオンガンについて、エッチングを利用する際に設定するArガスのガス圧10.0×10-2Paまでバルブ開放をすると、分析室の真空度が著しく劣化し、X線が落ちたりSIPが落ちる現象が続いています。
現状、ガス圧が所定の値まで上げられないため、ガス圧を通常より若干落として設定 (5.0×10-2Paほど) し、デプスを仕掛けるようにすると、X線が落ちる事なく測定が出来ます。
この場合、エッチングレートがマニュアル記載の値よりも下がる事が見込まれます。
できるだけ正しいエッチングレートが必要という場合には被膜等の厚みが既知の試料でテストしてもらう事をお勧め致します。また必要であれば酸化被膜の膜厚既知のSi試料をご提供致します。
Arイオンガンを利用してデプスプロファイル測定などを実行したいユーザーは、まずはスタッフまでご連絡下さい。対応致します。
よろしくお願いいたします。