日: 2022年2月7日

いつもご利用ありがとうございます。 JPS-9200のイオンガンについて、エッチングを利用する際に設定するArガスのガス圧10.0×10-2Paまでバルブ開放をすると、分析室の真空度が著しく劣化し、X線が落ちたりSIPが…