XPSのArイオンガンの不具合解消及びカーボンコーターのご紹介 投稿者: 鈴木啓太 日付: 2022年3月18日 いつもご利用ありがとうございます。 JPS-9200のイオンガンについて、先日まで続いておりましたArガス圧を10.0×10-2Paまでバルブ開放すると分析室の真空度が著しく劣化し、X線が落ちてしまう不具合は、現在解消さ…