日: 2022年12月27日

いつもご利用ありがとうございます。 XPSの不具合についてのご連絡です。現在、試料準備室と分析室を隔てるV1バルブに不具合があり、試料準備室をVENTした際にリークが起きて分析室の真空度が急激に悪くなる(10-4Paオー…