いつもご利用ありがとうございます。
XPSの不具合についてのご連絡です。
現在、試料準備室と分析室を隔てるV1バルブに不具合があり、試料準備室をVENTした際にリークが起きて分析室の真空度が急激に悪くなる(10-4Paオーダー程度)現象が発生しています。
V1バルブの修理・交換作業には暫く時間がかかるため、当面の間この不具合は解消出来ません。
不具合への対応策として、装置の立ち上げ及び撤収手順について以下のように変更致します。
立ち上げ時
１・簡易マニュアルの通り、初めに「試料の準備」「試料準備室への導入」を実施する(3ページ目から6ページ目)。
２・VENTした際に分析室の真空度が劣化するが、試料準備室の再排気と共に分析室真空度が良くなってくる。分析室真空度が10-7Paオーダーになるまで待機。
３・10-7Paオーダーまで到達してからマニュアルの7ページ目から9ページ目までの「装置の立ち上げ」を進める。
４・10ページ目からの「分析室への導入」は普段より真空引きの時間を長め(+30分程度)に待ってから実施。以降測定は通常通り。
撤収時
１・30ページ目の「終了の手続き」を必要に応じて実施。
２・31ページ目の「終了の手続き」内でまず”X線を落とす”の項目を実施。
３・”試料の取り出し”の項目を一旦飛ばして、”XPS装置本体の終了＆その他の作業”の項目の内、”X線源を落としてから15分経過後、X-R、SPECボタンをOFF”を実施する(15分待つこと)。
４・”試料の取り出し”の項目を実施。（この際もVENTした時に分析室真空度が急激に劣化します。）
５・”XPS装置本体の終了＆その他の作業”の残りの項目を実施。
不具合の症状が解消or修理されるまで、この手順を守ってご利用下さい。
また分析室の真空度が劣化し過ぎた場合、Ｘ-Rボタンの上部にある「ＳＩＰ」と書かれたＡＬＡＲＭランプが点灯し、全ての作業が出来なくなります。
このランプが点灯していることに気付いた際はスタッフまでご連絡下さい。
また本件についてご不明な点・操作にご不安がある場合は対応致しますのでスタッフまでお声がけ下さい。
ご不便お掛け致しますが、ご確認のほどよろしくお願いいたします。