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この度、オージェ電子分光装置(JEOL製JAMP-9500F)に装備にされているEBSD検出器と測定・解析ソフトウェアが新しくなりました。
EBSD検出器は以前までCCDカメラタイプだったものが、CMOSカメラ(OIM ORION検出器)にアップグレードしました。
制御用PCはwindows10のPCに変わり、測定ソフトウェアは「OIM data collection 5」から「APEX EBSD」に、解析ソフトウェアは「TSL OIM Analysis 5」から「EDAX OIM Analysis 8」にアップグレードしました。
これまで、通常の条件設定ですと3~4万点のマップ測定に10分近く要していましたが、ORIONでは最速の設定で1700点/秒が可能となっており、100万点のマップ測定が10分ほどで済みます。また解析ではパターンデータを保存しておけば再スキャンが出来るようになりました。Hough設定やPhase設定をやり直して再指数付けすることが可能です。
施設にはクロスセクションポリッシャなどのイオンミリング装置の他、研磨機、切断機、コーティング装置も用意があり、試料作製から測定・解析までを一貫して行う事が可能です。また、オージェ装置に付属していることから、オージェ分析やAr⁺エッチングを利用することで、パターンが見えない原因の究明や処置を行うことも可能です。
新しくなったEBSD装置について、ご利用お待ちしております。
詳しい使用方法については施設スタッフにお問い合わせ、または装置マニュアルをご確認下さい。
