SEMステージ故障の為、SEMの利用予約を一時停止致します。

いつもご利用ありがとうございます。

本施設のSEMについて、ステージのZ軸が稼働しない不具合が発見されました。

使用に堪えない状況のため本日分より、SEMの装置予約を一時停止させて頂きます。

ユーザーの皆様にはご不便をおかけいたしますが、ご理解のほどよろしくお願い致します。

復旧の予定については現在めどが立っておりません。

復旧予定が定まり次第、当websiteにてお知らせ致します。

よろしくお願い致します。