投稿者: 鈴木啓太 日付: 2017年2月17日 いつもご利用ありがとうございます。 SEMステージのZ軸が稼働しない不具合について、本日修理が完了しました。 本日13時からSEM装置の利用予約が可能です。 よろしくお願い致します。