SEMの反射電子検出器の故障について

いつもご利用ありがとうございます。

SEM(JSM-6510LA)は現在、 試料との接触により検出器が壊れた為、反射電子像(COMPO像、TOPO像、立体像)の観察が行えません。

また、反射電子像を観察する低真空モードについても使用出来ません。

通常の2次電子像観察、及びEDS分析については問題なく使用出来ます。

反射電子検出器の修理の予定は現在未定です。

反射電子像観察をご要望の方は施設職員までご相談下さい。

反射電子検出器の故障はユーザーの操作ミスに因るものでした。故障内容によっては修理に大変高額な費用が発生する場合があります。装置利用者の方はくれぐれもマニュアルの記載内容、装置講習時の注意点を守って操作するように徹底してください。また操作や導入する試料に不安な点などがあれば、どうぞ気兼ねなく施設職員までご相談ください。

よろしくお願いいたします。



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