XPSのArイオンガンエッチングレート変更のお知らせ

Thank you for always using.

Maintenance of the XPS, which was done from the beginning of this week has been completed today.

Due to the maintenance, Ar+ etching rate in each channel of the XPS were slightly changed. Please check each value.

ch1 3000eV: 14.2nm / min

ch2 2000eV: 6.6nm / min

ch3 1000eV: 3.8nm / min

ch4 when using monochrome X-ray. 3000eV: 14.2nm / min

We print updated value for Ar+ etching on XPS simple manual.

XPS simple manual measurement part20141001(Sorry, now only Japanese ver.)いつもご利用頂きありがとうございます。

今週初めから行われていたXPSのメンテナンス作業は本日終了しました。

メンテナンスに伴い、XPSのArイオンガンの各チャンネルでのエッチングレートが若干変更しております。ご確認下さい。

ch1 3000eV: 14.2nm/min

ch2 2000eV: 6.6nm/min

ch3 1000eV: 3.8nm/min

ch4 モノクロX線利用時用 3000eV: 14.2nm/min

新しいエッチングレートの値については簡易マニュアルの方にも更新版を載せてあります。

X線光電子分光装置(XPS)簡易マニュアル測定編20141001

 

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