XPSのAr+イオンガンが現在使えません

Thank you for always using.

While regular maintenance of the equipments had finished last week, a problem occured at the adjustment of the ion gun during meintenance, and did not recover during this period.

We schedule re-adjustment of Ar+ ion gun(sheduled for July 21 around).

Until then, you can not use the Ar+ ion gun.

but, you can measure XPS spectrum.

Users who are scheduled to the Ar+ ion gun combination measurement(depth profile or contamination removal), please wait for the restoration of the Ar+ ion gun.

Thank you.いつもご利用ありがとうございます。

装置の定期メンテナンスが先週終了しましたが、メンテナンス中にイオンガンの調整で不具合が生じてしまい、当期間中に復旧出来ませんでした。

Ar+イオンガンの再調整を近日中に行う予定です(7月21日~近辺を予定)。

それまでの間、Ar+イオンガンを使う事が出来ません。

それ以外のスペクトル測定などは問題なく出来ます。

デプスプロファイルや表面のコンタミ除去でAr+イオンガン併用でのXPSご利用を予定されているユーザーはAr+イオンガンの復旧をお待ちください。

宜しくお願い致します。

 

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