XPS磁場レンズのZ軸位置を調整しました

いつもご利用頂きありがとうございます。

XPSのミクロモード(0.2mmφ、0.03mmφ)での測定の際に機能する磁場レンズのZ軸位置をZ=19.45からZ=18.45に調整しました。これは現行のままだとステージZ軸を大きく下げた場合、可動制限内でもホルダーと磁場レンズの接触が起きるケースがあるためです。

マクロモード(3mmφ、1mmφ)での普通の測定では特に磁場レンズのZ軸位置は関係ありません。ミクロモードでの測定については今までよりも若干測定強度が落ちる可能性がありますのでご留意ください(恐らく1割程度減少します)。

角度分解法を利用する際に磁場レンズの高さを変更した場合、測定終了後磁場レンズの位置を戻す時には今後Z=18.45にセットするようお願い致します。

宜しくお願い致します。

 

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