光電子分光分析研究室

AES users, please pay more attention about handling of the magnet ring of the sample exchange chamber of AES. …

いつもご利用頂きありがとうございます。 当研究室のSEM及びEDSの簡易マニュアルを更新致しました。 エネルギー分散型X線分析装置(EDS)簡易マニュアル20141212 走査電子顕微鏡(SEM)簡易マニュアル20141…

いつもご利用頂きありがとうございます。 12/17(水)　9：00～12/18(木)　17：00　までの間、SEMのメンテナンスを行います。この期間中、装置予約は出来ません。また、メンテナンス期間は予告なく変更される場合…

いつもご利用頂きありがとうございます。 10/9(木)　9：00～17：00　までの間、低倍率でのコントラスト異常に関する修理作業の為、SEMをご利用頂けません。 メンテナンス時間は予告なく変更になる場合がございます。当…

Thank you for always using. Maintenance of the XPS, which was done from the beginning of this week has been co…

いつもご利用頂きありがとうございます。 来週、9/29(月)　13：00　~　10/1(水)　13：00　までの間、XPSとSEMのメンテナンスを行います。 当期間中は装置をご利用出来ません。また、メンテナンス期間は作業…

Thank you for continuous using. We have updated the XPS(photoelectron spectrometer) simple manual(sorry, only …

立て続いておりますXPSの通信障害トラブルについて、本日のメンテナンスにより、現在本体−PC間で問題なく通信が出来ております。 しかし根本的な障害の解消には至っておりません。 暫くの間、現在の状態を出来るだけ維持する為に…

現在、XPSは前回のトラブルと同様、本体側との通信に障害が発生しております。 7/28(月)まで、一旦メンテナンスとさせて頂きます。移設後から度々の故障で大変ご迷惑おかけしております。 7/29からの装置予約はそのままに…

先日からのPC-XPS本体間の通信障害について、本日修理が完了致しました。 本日午後より予約サイトにて、XPSの予約を受け付けを再開致しますので、ご利用予定の方は予約をお願い致します。 装置の修理に伴い、立ち上げ方法に若…

いつもご利用頂きありがとうございます。 先日からのPCとXPS本体との通信障害と別に、検出強度が上がらないトラブルが発生しております。 この修理の為、暫くの間XPSの予約を止めさせて頂きます。 メンテナンス期間は未定です…

先日お伝えしましたXPSの装置本体との通信障害について、まだ解決出来ておりません。 XPS-PCの電源をOn状態にし続ける事(shutdownしない)と、SPECボタンをOn状態にし続ける事(X-Rボタンは通常通り)で、…

いつもご利用ありがとうございます。 現在、XPSのPCとの通信障害のトラブルが発生しております。 修理の為、数日の間メンテナンス期間を取らせて頂きます。 復旧のめどは立っておりません。復旧次第、お知らせ致します。 宜しく…

いつもご利用頂きありがとうございます。 フロンティア棟への移転に伴う装置調整期間について変更がありましたのでご連絡致します。 XPS,SEM,CPについては既に調整が完了し、ご利用頂ける状態になっております。予約について…

XPSについて イオンガンのエッチングレートが変更になりました。 ch1: 14.3nm/min(SiO2) ch2: 10.0nm/min(SiO2) ch3: 2.0nm/min(SiO2) ch4: 14.3nm/…

本日、ナノマイクロマテリアル分析研究室と当研究室で合同装置利用説明会が行われました。 予想に反して多くの方にご出席頂きました。大変ありがとうございます。 説明会での資料について、当研究室分の資料を下記よりダウンロード頂け…

光電子分光分析研究室ユーザーの皆様 いつもご利用頂きありがとうございます。このたび光電子分光分析研究室はフロンティア応用科学研究棟1-03(02)に移設されることになりました。新棟でも変わらず皆様の装置利用が適切に行われ…

いつもご利用頂きありがとうございます。 XPSのミクロモード(0.2mmφ、0.03mmφ)での測定の際に機能する磁場レンズのZ軸位置をZ=19.45からZ=18.45に調整しました。これは現行のままだとステージZ軸を大…

先日お伝えしましたAES試料交換棒の故障の修理について、無事完了しました。本日より通常通りご利用いただけます。 試料交換棒のホルダーロックを行う黒いマグネットリングの扱いについて再度注意点を掲載させて頂きます。 黒いリン…

いつもご利用頂きありがとうございます。 windows XPのサポート終了に伴い、本学でXPがOSとなっているPCのHINESに接続しての使用が出来なくなりました。 XPS,EDS解析用PCが現在OSがXPですので、wi…

いつもご利用頂きありがとうございます。 オージェマイクロプローブ(AES)の試料交換棒が現在ホルダーを取り出せない不具合を発生させている為、4/10(木)の修理作業までの間利用と停止させて頂きます。 黒いリング部分の操作…

いつもご利用ありがとうございます。 オージェマイクロプローブ(AES)用の簡易マニュアルを新しく用意しました。 初めて利用される方でも試料導入から観察、測定、解析まで、装置とソフトウェアの使い方が分かるようになっています…

いつもご利用頂きありがとうございます。 当研究室設備として新たに精密平面研磨機のハンディラップ(HLA-2)が加わりました。 普通の研磨紙を用いて安価で平行な研磨を容易に行えます。100μmほどの薄片まで製作する事や平行…

いつもご利用頂きありがとうございます。 当研究室設備として新たにファインコータ(JFC-1200)が加わりました。 Auターゲットをスパッターする事で、試料にAuのコーティングを行う事が出来ます。 帯電が起こりやすいSE…

2/21にお知らせしましたカメラのセンター位置と分析位置のズレについて、本日修正を行いました。 分析領域0.2mmでの測定でもほぼ位置ズレがない状態になっています。 ですがミクロモード(0.2mm、0.03mm)での分析…

いつもご利用頂きありがとうございます。 XPSのカメラモニターに表示されるセンター位置が本来、分析位置とAr+イオンガンでエッチングされる中心位置になっておりますが、現在これが若干ズレております。 マクロモード(分析領域…

先ほどご通知させて頂きましたXPSの緊急メンテナンスについて、当日中に無事にメンテナンス作業が終了致しました。 通常通りご利用頂けますので、通知していましたメンテナンス期間中にご予約頂いていたユーザーの方々はそのままご利…

2/20、ホルダーを分析室から取り出せなくなるトラブルが発生し、分析室の真空を破いてホルダーを取り出す処置を行う為、真空を引き直す期間の間、装置の利用を停止させて頂きます。 ご利用予定者の皆様にはご迷惑をおかけいたします…

いつもご利用頂きありがとうございます。 XPSの二つのノーマルホルダーについて、それぞれ側面についている、内底固定用のネジが現在数本紛失またはネジ頭の損壊により使えなくなっています。 替えのないネジですので、利用者の方々…

いつもご利用頂きありがとうございます。 AES及びEBSD解析用のPCを研究室内に設置しました。             これまでAES、EBSDは解析用に別の…

先日お伝えしました磁場レンズのステージ機構に付属している、移動制限を大傾度用に切り替えるスイッチングの修理が完了しました。 このスイッチの使い方について、また角度分解法の使用法について改めてお伝え致します。  …

2台の解析用PCのデスクトップ上に置かれていたファイルを、勝手ながら「data」フォルダに移動させて頂きました。 可能な限り、データの格納はデスクトップ直下にある「data」と書かれたフォルダ下に格納して頂きますようお願…

角度分解法測定をする際などに利用する、ステージの移動制限を大傾度用に切り替えるスイッチングが磁場レンズのステージ機構に付属しています。 先週、これが磁場レンズの過度な移動により壊れている事が分かりました。現在修理を依頼中…

いつもご利用頂きありがとうございます。 年末年始の装置メンテナンス期間のお知らせです。従来通り、当研究室装置は12/29～1/3までの間、工学部閉鎖に伴い、予約不可とさせて頂いております。XPS・AESについてはその他メ…

12/2深夜XPSにおいて、分析室からホルダーが取り出せなくなるトラブルが発生しました。装置の真空を開放し、ホルダーの回収作業を行いました。 それに伴い、12/3本日から12/5　15:00まで装置メンテナンスとさせて頂…

いつもご利用頂きありがとうございます。 本日、解析用PCのデスク回りにパーティションを設置しました。 附属のホワイトボードもご自由にご利用ください。

XPSのソフトウェアPCをデュアルディスプレイで操作出来るようにディスプレイを追加しました。SpecSurfの更新に伴い、測定モードと解析モードのソフトウェアを２つ立ち上げられる事が多くなりましたので、両方を視認出来るよ…

いつもご利用頂きありがとうございます。 11/23(土)に当研究室のエアコンの修理が入ります。修理に伴い、エアコンが稼働しなくなるので全装置の利用を11/23(土)8：00～18：00の間、停止させて頂きます。ご了承くだ…

いつもご利用頂きありがとうございます。 本日、当研究室の運営委員会により装置使用料金に関する細則の変更が承認され、平成２５年１０月１日から施行される事となりました。 これはナノテクプラットフォーム事業の規程の改正に伴うも…

いつもご利用頂きありがとうございます。 XPSのマニュアルが更新になりました。装置利用するユーザーの方は確認してください。 主な変更点については以下の通りです。 ・アルゴンイオンガンCh1番のエッチングレートの変更 加速…

いつもご利用頂きありがとうございます。 装置の定期点検期間が延長になりました事をご連絡致します。 AES：～10/2(水)10:00までとなりました。 XPS：〜9/30(月)10:00までとなりました。 メンテナンス期…

いつもご利用頂きありがとうございます。 今年度の装置保守点検の日程についてお知らせ致します。 SEM　9月12日(木) XPS・AES　9月24日(火)~27日(金) この期間中、装置を使用することは出来ませんのでご了承…

当研究室のSEM(型番JSM-6510LA)のPCのCドライブが容量一杯になってきました。 それに伴い、現在デスクトップ上に置かれている各研究室・ユーザーのデータフォルダを外付けHDD(HDCA−UT(F:))に移動させ…

いつもご利用頂きありがとうございます。 工学部閉鎖期間、またその周辺の日程(8/9～8/14)での装置利用についてご連絡がございます。 閉鎖期間等夏季の一部期間について、装置の予約は立てられるようになっておりますが、研究…

本日(7/10)以降の予約サイトでの予約データが消えてしまいました。 装置予約をしていた方はご面倒ですが、再び同じ時間帯での予約を立て直してください。 今回の装置予約についてのお問い合わせがありましたら研究室スタッフまで…

本日、XPSのPCがコンピューターウィルスに感染している事が確認されました。 特にXPSの装置利用、ソフトウェアの動作に関して今のところ問題は見つかっておりません。 原因は恐らくウィルス感染したユーザー自身のUSBをPC…

安全講習会実受講者のご連絡を頂いた皆様に下記のメールをお送り致しました。   2013年度 安全講習会（全自動微小部分析装置室・光電子分光分析研究室） 未受講者の対応について 下記日程で安全講習会の未受講者対応…

本日午前に全自動微小部分析装置室との合同安全講習会が執り行われました。 原則、装置を使用するにあたって、この安全講習会に出席されている事が条件となっております。 欠席者に対しての対応が予定されております。こちらのPDFを…

いつもご利用頂きありがとうございます。 光電子分光分析研究室の予約サイトのアドレスが変わりました。 新アドレス　http://xpslab.jpn.ph/xps なお、新サイトでは予約時にナノテク課題番号を入力して頂く事…

当研究室のエアコンの温度調節がうまく機能していないため、現在エアコンの修理が行われています。 装置は基本的に通常通り使用出来ますが、AES,SEMの高分解能での撮像には若干支障が出るかもしれません。 ユーザーの皆様にはご…

今年度も光電子分光分析研究室と全自動微小部分析装置室合同の安全講習会が執り行われます。 各装置の利用においてはこの安全講習会受講が原則条件となっておりますので、ユーザーの皆様は必ずご参加ください。 詳しくはこちらに記載さ…

前日から故障していたSEM(JSM-6510LA)の修理が終了いたしました。 以前と同様にご利用頂けますので、ご利用の方はご予約の上、安全なご使用をよろしくお願い致します。

現在、SEM(JSM-6510LA)が低倍率において２次電子像、反射電子像全ての画面で一部の領域しか映らないトラブルが発生しております。 利用者の方にはご不便をおかけ致しますが、当面の間メンテナンス期間とさせて頂きますの…

オージェのマッピング分析時に今まで現れていた縦縞のノイズが今回のメンテナンスで修正されました。 修正前 修正後   AESメンテナンスは終了し、通常通りご利用いただけます。 よろしくお願い致します。

今までプラスチックケースに片付けられていたAES・XPSのホルダー類は、真空装置の劣化防止、分析環境改善の為に真空デシケーター内で管理する事になりました。 使用者の皆様方にはご面倒をおかけしますが、これからは装置使用前に…